36氪广东首发｜以核心技术推动高端离子束装备国产化「博顿光电」获数千万元Pre-B轮融资

  博顿光电科技有限公司（下称「博顿光电」）近日完成数千万元Pre-B轮融资，投资方为中芯聚源股权投资管理（上海）有限公司。本轮资金将大多数都用在扩大已批量生产产品的产能、新产品研发、工艺应用开发与示范。

  「博顿光电」成立于2016年，是一家从事新型离子源及离子束装备关键研发技术、设计与制造的创新型高科技企业。天眼查显示，「博顿光电」此前已完成三轮融资，资方分别是点亮资本、国民创投和粤科金融联合投资、建信信托下属平台建信（北京）投资。

  离子束加工技术是微纳加工中的精密技术，细分应用场景主要有离子束镀膜、离子束抛光、离子束刻蚀等。这项技术的主流应用虽然是半导体领域，但由于具有精度高、污染少、对工件损伤小等优点， 离子束加工技术也被大范围的应用于 消费电子、航空航天等领域关键元器件的超高精度加工处理（如手机镜头、集成电路等）。

  从主流的半导体应用领域来看，据中信建投证券股份有限公司统计，2019年全球半导体设备市场规模约为576亿美元，相关企业大多分布在在亚太地区。同时，亚太地区也是近年来全球最大的离子束装备销售与应用的地区，具有广阔的发展空间和巨大的市场需求。

  然而，亚太地区离子束市场一直被拥有行业先发优势的美国、日本离子束企业垄断。以高端真空蒸镀机为例，据QYResearch发表的《2017全球真空镀膜机市场发展现状及未来趋势》预计，全球真空镀膜机（非半导体类）市场规模在2022年将达到40亿美元。

  而在该领域，日本「Canon Tokki」占据了全球近95%的高端市场占有率。成立于1967年，「Canon Tokki」在OLED线年的研发经验。据悉，其生产的真空蒸镀机售价在每台一亿美元左右，极高的产品售价，每年能带来数十亿美元的巨额收入。

  与国外企业相比，国内民用级离子束企业在二十一世纪后才起步。据「博顿光电」创始人兼CEO冀鸣介绍，目前国内高端离子束装备市场存在比较大空白：“庞大的全球市场长期被美国、日本、德国等国家垄断，进口装备价格高昂。国外企业向中国出口离子束装备时，往往只出售整机，而限制核心零部件出口。”

  而当前国内离子束装备生产市场大致上可以分为科研院所和非公有制企业两大板块。前者生产的装备以科研实验用途为主，设备批量化生产水平较低，不足以满足市场需求；后者采用的生产模式主要是采购国外零部件进行组装，性能难以达到原厂整机水平，且易产生知识产权纠纷。

  在冀鸣看来， 目前国内大部分离子束装备公司可以提供的技术和服务尚徘徊在行业中低端，企业局限在价格竞争中，获取的利润也相对有限，“而限制公司发展的核心之一正是离子源技术”。他指出，“离子源技术就像一辆汽车的发动机，对于国内市场来说，可提供国产化‘发动机’，才有机会造出高性能‘整车’”。

  基于此，「博顿光电」提出“存量替代”和“市场增量”两条发展路径，从核心部件、整机装备、用户培育三方面入手，形成企业核心竞争力，构建技术壁垒。

  在核心部件方面，离子束装备的核心零部件是离子源。传统的灯丝型霍尔离子源通常只能持续工作10小时，需要在惰性气体环境中运转，电离效率低，且灯丝在工艺流程中挥发出的金属原子杂质会严重污染工件，因此，灯丝型离子源的性能难以满足日渐精细的工艺应用需求。

  对此，「博顿光电」采用具有专利技术的中空阴极和射频中和器，自主研发了HIT中空阴极霍尔离子源和RISE射频离子源（RF中和），将持续工作时长分别提升至100小时之后和1000小时之后。“超高的性价比”和“国产化”标签，让「博顿光电」的产品在市场推广过程中走得相对顺畅。

  在整机装备方面，以往国内企业一般会用购入进口零部件自行组装这类简单直接的产品模式。对此，冀鸣指出，进口的部件和设备在本土化应用过程中，存在用户要被动适应国外设备运作模式、个性化工艺及应用难以开展的问题。对此，「博顿光电」建立了自身标准化生产体系和质量体系，从核心部件到整机装备，形成工艺一体化量产优势。

  在用户培育方面，在高端离子束装备市场被国外企业高度垄断的背景下，国内精通高端离子束装备应用的专业技术人员并不多，其复杂繁琐的操作的过程和众多的工艺应用难点，让部分潜在客户存在“买了也不会用”的担忧。针对这一情况，「博顿光电」组建了工艺研发中心，生产装备支持AI智能算法和物联网在线诊断，以用户为导向，提供远程设备监测预警和软件升级，实现高端离子源和离子束装备智能化。

  当下，在半导体、光子集成、光通信等众多光电行业细致划分领域迎来良好发展的背景下，离子源和离子束装备行业也将受人关注。冀鸣认为，对国内这一领域的初创公司来说，技术背景和持续性的资产金额的投入是关键。

  「博顿光电」的创业小组成员大多具有光学、物理学、自动化等专业背景，熟悉生产技术，有利于自主研发。资金方面，「博顿光电」已获得多项来自中山市、佛山市、广东省科技发展专项资金支持，和来自多家知名投资机构的多轮融资。

  此外，「博顿光电」积极地推进产业布局。冀鸣介绍，目前，位于中山的总部企业主要负责离子源研发生产；成立于2020年的佛山公司主要负责离子束装备整机研发与生产，此外，「博顿光电」在西安也设有研发中心。

  冀鸣认为，以珠三角为核心的粤港澳大湾区拥有庞大的消费电子市场，在大湾区设立总部和分公司，符合公司核心业务拓展方向。 而西安的研发中心，则是「博顿光电」结合当地光学产业集聚优势的布局， 未来，还会面向京津冀和华东长三角的离子束应用示范中心构建产业布局。

  目前，「博顿光电」已与近150家客户达成合作伙伴关系，据冀鸣透露，「博顿光电」预计将在明年启动IPO计划。

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